微型電動隔膜泵是用微型直流襲電動機（一般電壓為5V、12V、24V的電動機）做動力驅(qū)動裝置，驅(qū)動內(nèi)部機械偏心裝置做偏心運動，由偏心運動帶動內(nèi)部的隔膜做往復(fù)運動。從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進行壓縮（壓縮時抽氣口關(guān)閉，排氣口打開形成微正壓）、拉伸（壓縮時排氣口關(guān)閉，抽氣口打開形成負(fù)壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。

微型真空泵，微型抽氣泵，負(fù)壓泵都是隔膜式的。

正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質(zhì)，而且具有體積小巧、噪音低、免維護，可以連續(xù)24小時運轉(zhuǎn)等優(yōu)點，所以微型真空泵被作為動力裝置，廣泛用于氣體采樣、氣體循環(huán)、真空吸附、加速過濾等等場合，在醫(yī)療、衛(wèi)生、科研、環(huán)保等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。